產品名稱（chēng）：HMDS真空幹燥箱（高（gāo）真空幹燥箱）

產品（pǐn）型號

BPZ-6060MS

BPZ-6090MS

BPZ-6060HV

BPZ-6090HV

產品特點

用（yòng）途概述：

HMDS真空幹燥箱用於半導體晶圓在進行HMDS預處理工藝中的幹燥，通過程序設定，使（shǐ）抽真空-通氮氣-抽真空-等實現自動控（kòng）製，自動實現HMDS預處理工藝過程，用於光刻過程的塗膠（jiāo）工藝；

高真空幹燥（zào）箱可在潔（jié）淨環境下使用，滿足潔淨環境下的高真（zhēn）空，無塵生產工藝，半導體晶（jīng）圓生（shēng）產工（gōng）藝車間使用，用於半導體、電子、醫療衛生、儀器儀（yí）表等領域的無氧化幹燥工藝；

產品特點
● 采用智能觸摸屏控製，溫度、真空度、時間等直接設定，菜單式操作（zuò），操（cāo）作（zuò）維護方便；
● 工作室采用316不鏽鋼，更好耐酸堿腐蝕（shí），確保產品經久耐用，便於清潔；
● 長（zhǎng）方形真（zhēn）空室（shì），使有效容積大，能充分利用空間；
● 彈性雙層鋼化玻璃門觀察工作（zuò）室內物體，一目了然；
● 箱門閉合鬆緊可調節，整體成型的合成矽橡（xiàng）膠門（mén）封圈，確保箱內高真空度；
● 增設超溫保護溫控口，有（yǒu）效的防（fáng）止溫（wēn）度失控等安全問題；（選配）
● 低噪聲專業真空泵，真空控製穩定可靠；（HMDS真空幹燥箱）
● 采用（yòng）內膽加熱，箱體內無任何電子元器件，無汙染，不易被腐蝕，使用更加安全；
● 采用超高真空泵，能（néng）夠保證箱體內真空度達1.0×10-4Pa；(高（gāo）真空幹燥箱)
程序控製
● 程序控製操作，可根據工（gōng）藝需求設定加熱、真空度設（shè）定、通氮、時間等參數實（shí）現（xiàn）自動程序控製，確保每批次（cì）烘烤一致性，降低產品的烘烤差異性；
● 具有485通訊接（jiē）口，可以通過外置軟件程序實施查（chá）看設備運行狀況和（hé）程序運（yùn）行（háng）狀況，保（bǎo）證設備一直運行在監控（kòng）當中；
技術參數

技術指標\型號（hào）	HMDS真空幹燥		高真空幹燥箱
	BPZ-6060MS	BPZ-6090MS	BPZ-6060HV	BPZ-6090HV
電源電壓	AC220V 50HZ		AC220V 50HZ
輸入功（gōng）率	3000W	3500W	3000W	3500W
控（kòng）溫範圍	RT+10~250℃		RT+10~200℃
溫度分辨率/波動度	0.1℃ /±1℃		0.1℃ /±1℃
達到真空度	100Pa		1.0×10-4Pa極限（xiàn）真空度
真空度顯示（shì）	電子式真空度顯示		電子式真空度顯示
工（gōng）作環境溫度	＋5～40℃		＋5～40℃
內膽尺寸(mm)W×D×H	400×400×400	450×450×450	400×400×400	450×450×450
外形尺寸(mm)W×D×H	600×570×1390	610×590×1350	600×570×1390	610×590×1350
擱板	2塊		2塊
加熱方式	內膽加熱（rè）		內膽（dǎn）加熱
工作室材料	316不鏽鋼		316不鏽鋼

※性能參數測試在（zài）空載條件下為：環境溫度20℃，環境濕度（dù）50%RH

注：外殼可定製為304不鏽鋼材質

選購件：（增加選購件（jiàn）交貨（huò）期7天）

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